特許

J-GLOBAL ID：200903051889456344

フラーレン薄膜製造方法

発明者： 黒島 貞則
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101978
公開番号（公開出願番号）：特開平8-295505
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】 フラーレン間の結合力を強め、フラーレンが基板上で動き回らないように固定されたフラーレン薄膜の製造方法。【構成】 フラーレン系薄膜の作製において、1分子層のフラーレンを蒸着するごとに光エネルギーを与えフラーレン分子同士を重合させ、フラーレン分子間を網の目のようにし、これを繰り返して強固なフラーレン薄膜を得る。

請求項（抜粋）：

基板上にフラーレン薄膜を形成する工程と、前記フラーレン薄膜に光エネルギーを与え、前記フラーレン薄膜中のフラーレンを重合する工程を有することを特徴とするフラーレン薄膜製造方法。

IPC (3件)：

C01B 31/02 101 ,  B01J 19/12 ,  C23C 14/06

FI (3件)：

C01B 31/02 101 Z ,  B01J 19/12 G ,  C23C 14/06 F