シリコン単結晶製造用ドープ石英ガラスルツボ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-205637
公開番号（公開出願番号）：特開2003-095678
出願日： 2002年07月15日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】内層、バルク層を有し、その内層に結晶化剤が分布し、シリコン融液と接触しても内層の平滑さが維持できル上にルツボの寸法安定性にも優れ、良好なシリコン単結晶を引き上げることができるルツボで及びその製造方法を提供する。【解決手段】シリコン単結晶製造用石英ガラスルツボであって、該ルツボが底部と側壁を含む壁を有し、その内部位にバリウム、アルミニウム、チタン、ストロンチウム及びそれらの混合物からなる群から選ばれた元素を含む結晶化剤が分布する内層が形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボ、及び回転するルツボ型の内表面に、シリカ粉末を導入して底部、側壁を有し、かつ内部キャビティを画定するバルク粉末層を形成し、その内部キャビティ内に高温雰囲気を発生させ、次いで内部用粉末と結晶化剤とを前記高温雰囲気中に導入するシリコン単結晶製造用石英ガラスルツボの製造方法。

請求項（抜粋）：

シリコン単結晶製造用石英ガラスルツボであって、該ルツボが底部と側壁を含む壁を有し、その内部位にバリウム、アルミニウム、チタン、ストロンチウム及びそれらの混合物からなる群から選ばれた元素を含む結晶化剤が分布する内層が形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボ。

IPC (4件)：

C03B 20/00 , C03C 3/06 , C30B 15/10 , C30B 29/06 502

FI (5件)：

C03B 20/00 H , C03B 20/00 F , C03C 3/06 , C30B 15/10 , C30B 29/06 502 B

Fターム (69件)：

4G014AH02 , 4G014AH08 , 4G062AA01 , 4G062AA15 , 4G062BB02 , 4G062CC01 , 4G062DA08 , 4G062DB02 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FB02 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM01 , 4G062NN40 , 4G062PP01 , 4G062PP03 , 4G062PP04 , 4G062PP11 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077PD01 , 4G077PD05

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