ステージ装置及び露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡部温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-283102
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093685
出願日： 2000年09月19日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】【課題】小型・軽量で真空中でも使用できるステージ装置を提供する。【解決手段】ステージ装置1は、ある間隔を隔てて対向する2つのガイド平面を有するガイド板である底板3、4、天板5、6と、その間に挟み込まれて摺動する移動テーブル20とを具備している。底板3、4の上面にはエアパッドが付設されており、天板5、6の下面にもエアパッド51が付設されている。これらのエアパッドにより、移動テーブル20はガイド平面内を低摩擦で運動可能となっている。移動テーブル20の中央は、2枚のマスクを搭載できる試料台となっている。移動テーブル20には、3個のリニアモータコイル27a、27b、25が設けられており、ガイド平面の2方向(X方向、Y方向)及びガイド平面に直交する軸の周り(θ方向)に運動可能である。

請求項（抜粋）：

ある間隔を隔てて対向する2つのガイド平面を有するガイド板と、前記2つのガイド平面の間に挟み込まれて摺動する移動テーブルと、前記移動テーブルを駆動するリニアモータと、を具備するステージ装置であって;前記リニアモータは前記ガイド板に付設された固定子と、前記移動テーブルに付設された移動子と、を有し、移動テーブルの一部が前記固定子とオーバーラップすることを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G12B 5/00 , H01J 37/20 , H01J 37/305 , H01L 21/68

FI (5件)：

G12B 5/00 T , H01J 37/20 D , H01J 37/305 B , H01L 21/68 K , H01L 21/30 541 L

Fターム (14件)：

2F078CA02 , 2F078CA08 , 2F078CB12 , 5C001AA03 , 5C001CC06 , 5C034BB06 , 5F031HA53 , 5F031KA06 , 5F031LA03 , 5F031LA04 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F056CB21 , 5F056EA14

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