特許
J-GLOBAL ID：200903051908997530
エキシマレーザ装置におけるレーザガス補給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312202
公開番号（公開出願番号）：特開平6-164026
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】レーザ装置の出力レーザ光のスペクトル幅を一定値に制御し、安定したレーザ運転を実現する。【構成】レーザチャンバ4で放電励起されたレーザ光のスペクトル幅Δλがスペクトル幅モニタ7で検出され、制御器1は、この検出されたスペクトル幅Δλに基づいてスペクトル幅が一定値となるように、F2ボンベ8からレーザチャンバ4内に補給されるガス補給量をサブタンク15、開閉弁16、17を介して制御する。
請求項（抜粋）：
ハロゲンガスを含むレーザガスがレーザチャンバ内に封入され、前記レーザチャンバ内で放電を行うことにより前記レーザガスを励起し、所定のスペクトル幅のレーザ発振光を出力するエキシマレーザ装置において、前記レーザチャンバ内に前記ハロゲンガスを補給する補給手段と、前記レーザ発振光のスペクトル幅を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出されたスペクトル幅に基づいて、レーザ発振光のスペクトル幅が前記所定のスペクトル幅になるように前記補給手段により補給されるハロゲンガスの補給量を制御する制御手段とを具えたエキシマレーザ装置におけるレーザガス補給装置。
IPC (2件)：
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