特許

J-GLOBAL ID：200903051925914648

半導体装置及びその製造方法

発明者： 長坂 滋
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-071675
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270832
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】 信頼性の悪化なしに、短チャネルトランジスタを作成し、半導体装置の集積度を画期的に向上させる半導体装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】第1導電型の半導体基板1中の一対の第2導電型の高濃度ソース・ドレイン領域11の間に形成された一対の第2導電型の低濃度ソース・ドレイン領域2と、この低濃度ソース・ドレイン領域上及び間の半導体基板上に設けられた多結晶シリコン層5と、金属シリサイド層6と、シリコン窒化膜7との積層構造のゲート電極3と、このゲート電極周囲に設けられたゲート側壁絶縁膜9と、このゲート側壁絶縁膜に接し、高濃度ソース・ドレイン領域にそれぞれ接続された一対のソース・ドレイン電極12と、ゲート電極下方の半導体基板中に設けられ、低濃度ソース・ドレイン領域に接し、高濃度ソース・ドレイン領域を覆っていない第1導電型の高濃度不純物領域10とを有する半導体装置である。

請求項（抜粋）：

第1導電型の半導体基板と、この半導体基板中に形成された一対の第2導電型の高濃度ソース・ドレイン領域と、この一対の高濃度ソース・ドレイン領域の間に形成された一対の第2導電型の低濃度ソース・ドレイン領域と、この一対の低濃度ソース・ドレイン領域上及び間の前記半導体基板上に設けられた多結晶シリコン層と、金属シリサイド層と、シリコン窒化膜との積層構造のゲート電極と、このゲート電極周囲に設けられたゲート側壁絶縁膜と、このゲート側壁絶縁膜に接し、前記一対の高濃度ソース・ドレイン領域にそれぞれ接続された一対のソース・ドレイン電極と、前記ゲート電極下方の前記半導体基板中に設けられ、前記一対の低濃度ソース・ドレイン領域に接し、かつ、前記一対の高濃度ソース・ドレイン領域を覆っていない第1導電型の高濃度不純物領域とを有することを特徴とする半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/768 ,  H01L 29/43 ,  H01L 21/336

FI (10件)：

H01L 21/28 Z ,  H01L 21/28 301 D ,  H01L 29/78 301 X ,  H01L 21/88 Q ,  H01L 21/90 D ,  H01L 29/62 G ,  H01L 29/78 301 Y ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 301 P ,  H01L 29/78 301 L

Fターム (91件)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB25 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD04 ,  4M104DD06 ,  4M104DD26 ,  4M104DD28 ,  4M104DD63 ,  4M104DD64 ,  4M104DD65 ,  4M104DD75 ,  4M104DD84 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE17 ,  4M104FF14 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  4M104GG18 ,  4M104GG20 ,  4M104HH18 ,  5F033HH00 ,  5F033HH04 ,  5F033HH27 ,  5F033HH28 ,  5F033JJ00 ,  5F033JJ01 ,  5F033KK01 ,  5F033MM07 ,  5F033MM15 ,  5F033NN32 ,  5F033NN40 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ70 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ76 ,  5F033RR06 ,  5F033SS11 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV16 ,  5F033XX03 ,  5F033XX15 ,  5F140AA00 ,  5F140AC01 ,  5F140BB09 ,  5F140BC06 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG09 ,  5F140BG14 ,  5F140BG22 ,  5F140BG34 ,  5F140BG36 ,  5F140BG37 ,  5F140BG38 ,  5F140BG40 ,  5F140BG44 ,  5F140BG45 ,  5F140BG49 ,  5F140BH14 ,  5F140BH15 ,  5F140BH38 ,  5F140BH49 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK27 ,  5F140BK34 ,  5F140CB02 ,  5F140CB08 ,  5F140CC12 ,  5F140CE07 ,  5F140CE20 ,  5F140CF04