特許

J-GLOBAL ID：200903051926577882

ヒューズ付き多重電極静電チャック

発明者： アナンダ エイチ. クマール ,  シャモウイル シャモウイリアン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-114760
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064987
出願日： 1997年05月02日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 基板35処理時に基板35保持に有用な耐故障性を持つ静電チャックを提供すること。【解決手段】 チャック20は絶縁体層30で覆われた複数の電極25を備え、電極25に電圧が加えられて基板35を静電的に保持することができる。電力バス40は電極25に電圧を導く複数の出力端子45を有する。ヒューズ50は電極25を電力バス40の出力端子45に電気的に接続し、各ヒューズ50は少なくとも1つの電極25を電力バス40からの出力端子に直列接続する。絶縁体層30に孔があいて電極25を処理環境に曝すことによって電流がヒューズ50を通って流れるときに、ヒューズ50が電極25を出力端子45から電気的に開放できる。電流検出器175と電気カウンタ180とによりヒューズ50を通る電流放電を検出し、電極25の故障の早期検出と故障の数の計数が可能となる。

請求項（抜粋）：

処理環境の中で基板を保持する静電チャックであって、(a)電圧が加えられたときに基板を静電的に保持するために設けられ、絶縁体によって覆われた複数の電極と、(b)前記電極に電圧を導くための複数の出力端子を有する電力バスと、(c)複数のヒューズと、を備え、各ヒューズが、(i)少なくとも1つの電極を、前記電力バスからの前記出力端子に直列に電気的に接続し、(ii)前記絶縁体に孔があいて前記電極を露出させることによって、前記処理環境からの電流放電が前記ヒューズを通って流れるときに、前記電極を前記出力端子から電気的に開放するために充分に低いアンペア定格を有することを特徴とする備える静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D