特許

J-GLOBAL ID：200903051927755164

イオン照射装置

発明者： 西上 靖明
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-191490
公開番号（公開出願番号）：特開平10-018032
出願日： 1996年07月01日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：

【要約】【課題】 プラズマシャワーの過剰状態を速やかに検出して基板の負帯電を防止する。【解決手段】 ディスク4に流れるディスク電流ID を計測してそのディスク電流に応じた信号Sを出力するディスク電流計測器30と、ディスク4の並進位置を検出してその並進位置を表す位置信号Pを出力するディスク位置検出手段32とを設けた。更に、両者30、32からの信号を用いて、ディスク4の先端4bにイオンビーム2が当たる時のディスク電流ID と、同ディスク4の基板6よりも中心側4cにイオンビーム2が当たる時のディスク電流ID とを比較して、前者が後者よりも小さいときに異常検出信号Rを出力する判定回路40を設けた。

請求項（抜粋）：

真空容器内で回転および並進させられるディスクの周縁部に装着された基板にイオンビームを照射して当該基板を処理する装置であって、ディスクの上流側付近のイオンビームの近傍にプラズマを供給するプラズマシャワー装置を備えるイオン照射装置において、前記ディスクに流れるディスク電流を計測してそのディスク電流に応じた信号を出力するディスク電流計測器と、前記ディスクの並進位置を検出してその並進位置を表す位置信号を出力するディスク位置検出手段と、このディスク位置検出手段からの位置信号と前記ディスク電流計測器からの信号とを用いて、前記ディスクの先端にイオンビームが当たる時のディスク電流と、同ディスクの基板よりも中心側にイオンビームが当たる時のディスク電流とを比較して、前者が後者よりも小さいときに異常検出信号を出力する判定回路とを備えることを特徴とするイオン照射装置。

IPC (3件)：

C23C 14/48 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265

FI (5件)：

C23C 14/48 C ,  H01J 37/317 C ,  H01J 37/317 B ,  H01L 21/265 N ,  H01L 21/265 T