特許
J-GLOBAL ID：200903051931959572
高周波装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-153543
公開番号（公開出願番号）：特開平5-345972
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 ロスタイムなく短時間にマッチングを取ることができる高周波装置を実現する。【構成】 高周波発振器1からの高周波電力は、負荷7に印加されるが、その際、高周波発振器と負荷側のインピーダンスを整合させ、効率よく高周波を負荷7に供給するため、マッチングボックス3内のマッチングコンデンサ4、チューニングコンデンサ5を調整し、インピーダンスマッチングを行う。計算器12は各電圧と位相に基づいて負荷7のインピーダンスやコンデンサ4,5の容量を求め、制御回路13は、求められたコンデンサ4と5の容量に応じ、モータ14と15を制御し、各コンデンサの容量を計算で求めた値にセットする。
請求項（抜粋）：
高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、負荷に流れる電流から負荷インピータンスを求める計算手段と、負荷インピーダンスの値に基づいて可変コンデンサの容量を調整する調整手段とより成る高周波装置。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, H01L 21/203
, H01L 21/302
