特許

J-GLOBAL ID：200903051932572663

検査光照射装置

発明者： 渡辺 政孝 ,  窪田 寛 ,  谷口 良輔
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (3件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-111562
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317294
出願日： 2003年04月16日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【解決手段】レジスト膜が積層されたフォトマスクブランク基板のレジスト膜に光を照射することによりレジスト膜の欠陥を検出するための検査光照射装置であって、レジスト膜が積層された基板が載置される照射台と、照射台から立設された支柱と、支柱に沿って移動可能に取り付けられ、モータの駆動により移動する支持体と、支持体に上下方向回動可能に取り付けられ、モータの駆動により回動する光源とを具備し、支持体の移動により光源から基板のレジスト膜表面に対して照射される検査光の照射高さが変化し、光源の回動により光源から基板のレジスト膜表面に対して照射される検査光の照射角度が変化するように構成した検査光照射装置。【効果】フォトマスクブランクに積層されるレジスト膜の欠陥検査におけるパーティクルの発生を可及的に防止し、レジスト膜上の異物やレジスト膜厚のムラ等の欠陥の効率的な検査が可能となる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レジスト膜が積層されたフォトマスクブランク基板の該レジスト膜に光を照射することにより該レジスト膜の欠陥を検出するための検査光照射装置であって、 レジスト膜が積層されたフォトマスクブランク基板が載置される照射台と、該照射台から立設された支柱と、該支柱に沿って移動可能に取り付けられ、モータの駆動により移動する支持体と、上記支持体に上下方向回動可能に取り付けられ、モータの駆動により回動する光源とを具備し、 上記支持体の移動により上記光源から上記基板のレジスト膜表面に対して照射される検査光の照射高さが変化し、上記光源の回動により上記光源から上記基板のレジスト膜表面に対して照射される検査光の照射角度が変化するように構成したことを特徴とする検査光照射装置。

IPC (4件)：

G01N21/84 ,  G01B11/30 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G01N21/84 E ,  G01B11/30 Z ,  G03F1/08 S ,  H01L21/30 502V

Fターム (25件)：

2F065AA30 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065DD06 ,  2F065DD13 ,  2F065FF41 ,  2F065FF51 ,  2F065GG21 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ12 ,  2F065PP02 ,  2F065PP05 ,  2F065PP11 ,  2F065TT01 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051AB20 ,  2G051BA04 ,  2G051BB01 ,  2G051CA11 ,  2H095BD04 ,  2H095BD05