特許

J-GLOBAL ID：200903051937762134

層とサブストレートの光学測定中にユーザーをガイドするための方法と装置、並びにソフトウエア

発明者： マティアス スロドヴスキー ,  カール・ハインツ イルマー
出願人/特許権者： ライカ マイクロシステムス イェーナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 伊藤 武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203825
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093874
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】光学測定系による、被覆されたサブストレート上と被覆されないサブストレート上の、埃や塵の粒子またはきずの検知、および層厚測定の間でのユーザーフレンドリーで操作しやすいユーザガイドを提供する。【解決手段】 処方とデータとのブラウザがスクリーン上で同時に表示され、かつ同時に両方のブラウザにアクセス可能にした。

請求項（抜粋）：

光学測定系による被覆されたサブストレートと被覆されないサブストレートの光学検分と測定の間でのユーザーガイドにおいて、分類可能な特徴を備え統合された処方とデータのブラウザを特徴とするユーザーガイド。

Fターム (6件)：

4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106BA06 ,  4M106CA41 ,  4M106CA48 ,  4M106DJ40