特許
J-GLOBAL ID：200903051939547761
光学系
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小橋 一男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-111250
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311899
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 荷電粒子ビームシステムに使用する改良した光学系を提供する。【解決手段】 本発明は、電子顕微鏡、Eビーム装置又はFIB装置などの粒子ビーム装置用の光学系を提供しており、それは、それに沿って粒子ビームが投影される光軸を具備している粒子ビームカラム、及び該カラム内に位置されており該光軸と同軸状のアパーチャーを具備すると共に該光軸と平行な方向に移動可能なアパーチャー付きプレートを有している。
請求項（抜粋）：
粒子ビーム装置用の光学系において、(a)粒子ビームが投影される光軸を具備している粒子ビームカラム、(b)前記カラム内に位置されており、前記光軸と実質的に同軸状のアパーチャーを具備しており且つ前記光軸に対して実質的に平行な方向に移動可能なアパーチャー付き部材、を有することを特徴とする光学系。
IPC (3件)：
G21K 1/00
, H01J 37/04
, H01J 37/09
G21K 1/00 E
, H01J 37/04 B
, H01J 37/09 A
