特許

J-GLOBAL ID：200903051944024114

形状測定装置

発明者： 広野 淳之
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-196461
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038532
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 短時間に被測定物の形状を測定できる形状測定装置を提供する。【解決手段】 被測定物5に光を所定時間照射する照射手段1と、照射手段1からの光を遮蔽する走査板21の端面を介して形成されるスリット端面21aが傾斜角21bを有したスリット光21を、被測定物5の一端5aから他端5bにわたって走査する走査手段2と、各画素が反射光を受光し電荷を蓄積して受光時間に対応した画素出力値を出力する受光手段3と、被測定物5の距離を受光手段3からの画素出力値に基づいて演算する距離演算手段4とを備えた形状測定装置であって、前記走査手段2は、前記傾斜角21bを所定速度で変位するよう前記スリット光21を走査するとともに、前記距離演算手段4は前記他端5bに至る走査に伴って増加した前記各画素の電荷に対応した前記画素出力値に基づいて、前記距離を演算する構成にしてある。

請求項（抜粋）：

被測定物に光を所定時間照射する照射手段と、照射手段からの光を遮蔽する走査板の端面を介して形成されるスリット端面が照射手段から被測定物に下ろした垂線との間に傾斜角を有したスリット光を、被測定物の一端から他端にわたって走査する走査手段と、被測定物からスリット光の反射光を受光し結像した平面の各位置に配置された各画素が電荷を蓄積し受光時間に対応した画素出力値を出力する受光手段と、被測定物の平面から変位した変位面までの距離を受光手段からの画素出力値に基づいて演算する距離演算手段とを備え、平面における位置、及びその平面の直交方向における変位面の位置を、スリット光と反射光とで形成される三角形を測定する三角測量法でもって測定する形状測定装置であって、前記走査手段は、前記傾斜角を所定速度で変位するよう前記スリット光を走査するとともに、前記距離演算手段は前記他端に至る走査に伴って増加した前記各画素の電荷に対応した前記画素出力値に基づいて、前記距離を演算することを特徴とする形状測定装置。