特許

J-GLOBAL ID：200903051945904592

原料試薬液体の供給装置、およびその供給装置を備える化学蒸着装置

発明者： キルリン.ピーター.エス ,  ビンダー.ロビン.エル ,  ガーディナー.ロビン.エー ,  ヴァン.バスキルク.ピーター ,  ザン.ジミング ,  スタウフ.グレゴリー
出願人/特許権者： アドバンスド.テクノロジー.マテリアルズ.インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 押田 良輝 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-501257
公開番号（公開出願番号）：特表2001-517267
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：

【要約】気体状にある非揮発性試薬を供給する方法および装置であり、この非揮発性の試薬原料液体は、高温で蒸発マトリックス構造体(26)の上でフラッシュ蒸発される。キャリア気体が、フラッシュ蒸発マトリックス構造体を経て流れ、フラッシュ蒸発された原料試薬を含むキャリア気体混合物を発生させる。この蒸発マトリックス構造体(26)は、表面対容積の比が大きく、また、フラッシュ蒸発すべく試薬原料液体が分配されるスクリーンメッシュのような多孔性マトリックス部材を適宜に備えることが好ましい。本発明は、II族の試薬および化合物、ならびに、例えばジルコニウムおよびハフニウムのような、早期遷移金属の錯体を供給する場合に特に有用である。また、本発明は、例えばYBaCuO、BiSrCaCuOおよびTlBaCuO型のようなII族のβ-ケトネート原料層、超伝導体、およびガリウムヒ化物のオーバーコートとの間にII族の金属フッ化物の内部層を形成し、また、例えばBaTiO3、BaxSr1-xNb2O6、PbZr1-xTixO3のような光および強磁性材料の薄膜を蒸着させるためにも使用することができる。

請求項（抜粋）：

蒸気流れ関係に接続された、化学蒸着反応器へ流れる原料試薬を発生させるべく液体相原料試薬を蒸発させる高流量蒸発装置において、 内面を有する壁部材と境をなす内部空間部を有し、かつその内部空間部が、前記液体相の原料試薬を蒸発させることにより製造される蒸気の気体流通路を形成する気体流通路と、 約0.5μm乃至約200μmの範囲の平均孔径を有する孔により形成された多孔度の多孔室の原料試薬液体の蒸発部材であって、該多孔度が、蒸発部材の容積に基づいて、約10乃至約70%の空隙容積である内部空間部を前記蒸発部材内設け、該蒸発部材が、気体流通路の壁部材の前記内面に対して当接する関係に配置されかつ該内面と共に、前記液体相の原料試薬から原料試薬蒸気を発生させる限定された蒸発領域を形成する多孔性の原料試薬液体の蒸発部材と、 原料試薬液体出口を形成しかつ前記蒸発部材の対向表面に対して横断する方向に向って液体を排出し得るように配置された、端部を有する原料試薬液体供給路であって、前記液体相の原料試薬液体が、前記液体に対する毛細管吸上げ作用を介して前記蒸発部材の前記表面領域を横断して薄膜状に分配されるようにする原料試薬液体供給路と、 前記液体相の原料試薬を蒸発させる温度まで前記蒸発部材を加熱し得るように前記気体の流通路壁に対して加熱する関係に配置された加熱手段とを備えることを特徴とする高流量の蒸発装置。