表面温度測定装置及び表面温度測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-366796
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190670
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】ノイズ等の影響を受けることなくウエハの表面温度を高精度に測定することができる表面温度測定装置を提供すること。【解決手段】レーザ光をウエハWの測定点Waに照射するレーザ光照射部23と、このレーザ光照射部23から照射されたレーザ光を分離してウエハWの測定点Wa及びこの測定点Waから所定距離だけ隔てた位置の参照点Wbに平行に照射するウォラストンプリズム25と、測定点Waにパルスレーザ光を照射し、測定点Waを間欠的に加熱するパルスレーザ光照射部22と、測定点Wa及び参照点Wbから反射した反射光を集めて干渉を検出するフォトディテクタ27と、このフォトディテクタ27で得られた測定点Waの超音波振動の周波数に基づいて測定点Waの温度を算出するパソコン28とを備えた。

請求項（抜粋）：

ワークの表面温度を測定する表面温度測定装置において、レーザ光を前記ワークの測定点に照射するレーザ光照射部と、このレーザ光照射部から照射されたレーザ光を分離して前記ワークの測定点及びこの測定点から所定距離だけ隔てた位置の参照点に平行に照射するレーザ光分離部と、前記測定点にパルスレーザ光を照射し、前記測定点を間欠的に加熱するパルスレーザ光照射部と、前記測定点及び参照点から反射した反射光を集めて干渉を検出する干渉計と、この干渉計で得られた前記測定点の超音波振動の周波数に基づいて前記測定点の温度を算出する演算部とを備えていることを特徴とする表面温度測定装置。

IPC (3件)：

G01K 11/26 , G01B 11/00 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01K 11/26 , G01B 11/00 G , H01L 21/66 Z

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