特許
J-GLOBAL ID：200903051952079491
LCDカラーフィルタ基板端面の残膜除去装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-287013
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118226
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】LCDカラーフィルタ基板端面の残膜を化学的に溶解除去し、残膜剥離に伴う異物発生によるカラーフィルタの不良をなくし、クリーンルームの環境汚染を防止し、現像工程内へのインライン化もう可能にするもの。【構成】基板11の搬送ローラ1上に基板11のパターン部を両側からマスキングする枠2を昇降自在に設け、この枠2の外側に沿って設けた希アルカリ液噴射ノズル5から枠2の下降によりパターン部がマスキングされた基板11の端面部に残膜溶解用の希アルカリ液を供給し、同時に希アルカリ液噴射ノズル5に対向して設けられた純水噴射ノズル6から枠2の内側下端に純水を噴射して希アルカリ液が基板11のパターン部に侵入しないようにパターン部を保護するもの。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタ基板の搬送路上に該基板のパターン部を両側からマスキングする枠を昇降自在に設け、前記基板端面部に希アルカリ液を供給する希アルカリ液噴射ノズルを前記枠の外側に沿って設けると共に、該希アルカリ液噴射ノズルに対向して下降時の前記枠内側下端に純水を噴射する純水噴射ノズルを設けたことを特徴とするLCDカラーフィルタ基板端面の残膜除去装置。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/13 101
, G03F 7/30 501
