特許
J-GLOBAL ID：200903051953420782
ウエハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-208931
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036812
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 キャリア内でウエハが傾いて収納されている場合であっても、ハンド挿入位置でのウエハ間隔を正確に検出しウエハを確実に取出し可能とするウエハ搬送装置を提供する。【構成】 複数枚のウエハ1を間隔を隔てて並列に保持するキャリア2と、該キャリア2に対しウエハ1を収納および取出すためのウエハ搬出入手段3と、キャリアの両側に配置した2対の発光素子4a、4bおよび受光素子5a、5bからなる光学的ウエハ検出手段と、該ウエハ検出手段からの出力によりウエハの収納姿勢状態を計算し判断する演算手段とを具備し、前記2対のウエハ検出手段の各発光素子4a、4bからのビーム方向が基準面7に対し異なる角度となるように該検出手段を配置した。
請求項（抜粋）：
複数枚のウエハを間隔を隔てて並列に保持するキャリアと、該キャリアに対しウエハを収納および取出すためのウエハ搬出入手段と、キャリアの両側に配置した2対の発光素子および受光素子からなる光学的ウエハ検出手段と、該ウエハ検出手段からの出力によりウエハの収納姿勢状態を計算し判断する演算手段とを具備し、前記2対のウエハ検出手段の各発光素子からのビーム方向が基準面に対し異なる角度となるように該検出手段を配置したことを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/66
