特許

J-GLOBAL ID：200903051962816486

プローバ

発明者： 木村 和則 ,  水村 勉
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-319033
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150596
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】 簡単な機構で大きな接合力の得られる信頼性の高いプローブカードの自動着脱機構を低コストで実現する。【解決手段】 プローブカード3と、プローブカードをプローブカード固定部材5に着脱するプローブカード自動交換機構とを備えるプローバであって、プローブカードは、一部に切り欠き61を有する外周つばを有するカード取付けリング8に保持され、プローブカード自動交換機構は、プローブカード固定部材5に対して回転可能に支持され、回転に伴い上下方向の位置が変化する案内溝43を有する回転リング41と、案内溝に嵌まるピン52と内周にカード取付けリングの切り欠きに対応した内周つば53とを有し、所定角度回転後はそれ以上回転せずに案内溝に沿って上下方向に変位するクランプリング51と、回転リングを回転させる駆動手段70,74 とを備える。

請求項（抜粋）：

ウェーハ上に形成された半導体デバイスの電極パッドに接触するプローブニードルを有するプローブカードと、該プローブカードを搬送してプローブカード固定部材に着脱するプローブカード自動交換機構とを備え、テスタが、前記プローブニードルを介して前記半導体デバイスに試験信号を印加し、該試験信号に対する前記半導体デバイスの出力を前記プローブニードルを介して検出することにより前記半導体デバイスを電気的に試験するプローバであって、前記プローブカードは、一部に切り欠きを有する外周つばを有するカード取付けリングに保持され、前記プローブカード自動交換機構は、前記プローブカード固定部材に対して回転可能に支持され、回転に伴い上下方向の位置が変化する案内溝を有する回転リングと、前記案内溝に嵌まるピンと、内周に前記カード取付けリングの前記切り欠きに対応した内周つばとを有し、前記回転リングの回転に伴って所定角度回転し、該所定角度回転後はそれ以上回転せずに前記案内溝に沿って上下方向に変位するクランプリングと、前記回転リングを回転させる駆動手段とを備え、前記カード取付けリングの切り欠きと前記クランプリングの前記内周つばの位置を合わせ、前記カード取付けリングの切り欠きが前記クランプリングの前記内周つばより上に位置するまで前記カード取付けリングを上昇させた後、前記駆動手段により前記回転リングを回転させて前記クランプリングを上昇させ、前記内周つばで前記外周つばを上方向に付勢することを特徴とするプローバ。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K

Fターム (29件)：

2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AB01 ,  2G011AB05 ,  2G011AB07 ,  2G011AC01 ,  2G011AC02 ,  2G011AC05 ,  2G011AC06 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G032AB01 ,  2G032AE01 ,  2G032AE04 ,  2G032AE12 ,  2G032AF03 ,  2G032AF05 ,  2G032AK03 ,  2G032AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106AD24 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DD12 ,  4M106DD30 ,  4M106DG10 ,  4M106DG19 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07