特許

J-GLOBAL ID：200903051970058027

感光性樹脂組成物

発明者： 高橋 修一
出願人/特許権者： クラリアント インターナショナル リミテッド
代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000000318
公開番号（公開出願番号）：WO2000-048044
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2000年08月17日
要約：

【要約】感光性樹脂組成物に特定量の蛍光物質を添加含有させた、高感度、高解像力、残膜性に優れ、良好なパターンを形成することができる感光性樹脂組成物である。アルカリ可溶性ノボラック樹脂とキノンジアジド化合物のような少なくとも樹脂と感光性物質からなる感光性樹脂組成物に対しては、蛍光物質を感光性物質100重量部に対し0.0001〜1.0重量部、ポジ型あるいはネガ型化学増幅レジストのような少なくとも樹脂と光酸発生剤を含むも感光性樹脂組成物に対しては、蛍光物質を1.0〜30.0重量部用いる。蛍光物質としては、ナフタレン類、アントラセン類、フェナントレン類、ピレン類、ペリレン類、フルオレン類、カルバゾール類、ビフェニル類、p-テルフェニル類、p-クアテルフェニル類、インドール類、アクリジン類、ナフタセン類、ルブレン類、クリセン類などの有機蛍光物質が用いられる。

請求項（抜粋）：

少なくとも樹脂と感光性物質からなる感光性樹脂組成物において、感光性物質100重量部に対し、蛍光物質を0.0001〜1.0重量部含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/004 505 ,  C08K 5/28 ,  C08L 61/00 ,  C08L 61/06 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/004 505 ,  C08K 5/28 ,  C08L 61/00 ,  C08L 61/06 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/30 502 R