特許

J-GLOBAL ID：200903051971835086

半導体試験装置

発明者： 飯田 洋介
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-186751
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019219
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】電源投入から定常運転に至る全期間において良好な温度異常の監視が可能な半導体試験装置の温度監視装置を提供する。【解決手段】半導体試験装置内を強制空冷により架台内温度を一定に制御する架台内温度制御手段を備える半導体試験装置の架台内の温度監視装置において、電源投入直後から架台内温度が上記架台内温度制御手段により所定の定常温度に至るまでの過渡期間において第1の警報温度設定値により異常な温度を検出する手段を具備し、上記所定の定常温度以降の定常期間において第2の警報温度設定値により異常な温度を検出する手段を具備する半導体試験装置の温度監視装置。

請求項（抜粋）：

半導体試験装置内を強制空冷により架台内温度を一定に制御する架台内温度制御手段を備える半導体試験装置の架台内の温度監視装置において、電源投入直後から架台内温度が該架台内温度制御手段により所定の定常温度に至るまでの過渡期間において第1の警報温度設定値により異常な温度を検出する手段と、該所定の定常温度以降の定常期間において第2の警報温度設定値により異常な温度を検出する手段と、を具備していることを特徴とする半導体試験装置。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  G01K 7/00 321 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

G01R 31/26 H ,  G01K 7/00 321 J ,  G01R 31/28 H

Fターム (9件)：

2G003AA07 ,  2G003AC03 ,  2G003AD02 ,  2G003AH05 ,  2G003AH06 ,  2G032AA00 ,  2G032AB13 ,  2G032AC03 ,  2G032AE08