特許
J-GLOBAL ID：200903051981598694
マイクロ波用誘電体共振器の電極形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290788
公開番号（公開出願番号）：特開平5-110321
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 めっきふくれを解消し、経済的にも優れた誘電体共振器の電極形成方法を提供することを目的とする。【構成】 誘電体共振器セラミックス2の表面を脱脂、化学的エッチング、感受性化、活性化の順に処理し、下地電極として無電解Ni-Pめっき4の厚さを0.1μm以上、スキンデプスの1/10以下の皮膜に形成させた後、無電解Cuめっき5により厚付けめっきを行う。
請求項（抜粋）：
誘電体共振器セラミックスの表面を脱脂、化学的エッチング、感受性化、活性化の順に処理した後、下地電極として無電解Ni-Pめっきの厚みを0.1μm以上、スキンデプスの1/10以下の皮膜に形成させた後、無電解Cuめっきにより厚付けめっきを行った2重構造の電極層を形成したことを特徴とするマイクロ波用誘電体共振器の電極形成方法。
IPC (3件)：
H01P 11/00
, C23C 18/52
, H01P 7/04
