特許

J-GLOBAL ID：200903051984394801

弾性表面波装置

発明者： 横田 裕子 ,  松田 敏哉
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-161504
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353767
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 電極の電気抵抗を増大することなく、高い耐電力性を備えた電極構造を有する弾性表面波装置を提供すること。【解決手段】 圧電基板1と、Alを主成分とする材料からなる層との間に、Alより自己拡散係数が小さい元素を主成分とする第1層2、アモルファスからなる第2層3、および、Alより自己拡散係数が小さい元素を主成分とする第3層4からなる積層体を介在させた弾性表面波装置とする。

請求項（抜粋）：

圧電基板上にAlを主成分とする材料からなる弾性表面波励振用の電極層を形成した弾性表面波装置において、前記圧電基板と前記電極層との間に、Alより自己拡散係数が小さい元素を主成分とする第1層、アモルファスからなる第2層、および、Alより自己拡散係数が小さい元素を主成分とする第3層からなる積層体を介在させたことを特徴とする弾性表面波装置。

Fターム (8件)：

5J097AA26 ,  5J097DD29 ,  5J097FF03 ,  5J097GG03 ,  5J097HA02 ,  5J097HA07 ,  5J097HA08 ,  5J097KK09