接続装置の製造方法ならびに検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-028892
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215242
出願日： 2000年02月01日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】狭ピッチ多ピンの検査用電極3を有したウエハの検査用プローブの製法は、接触端子の一括形成が可能なエッチング方法が適しているが、接触端子形成用のホトレジストマスクと微細な配線引き出し形成部分とを高精度に位置決めしてエッチング処理する必要がある。そのため、高精度なホトレジストプロセス技術が必要となるため、プローブ製造が容易で、低価格で接触特性が良好なプローブ製造方法が望まれている。【解決手段】本発明は、導電性配線と交差するマスクを用いて該マスク形成部以外の該導電性配線の表面層をエッチングして突起(接触端子)と引き出し用配線を構成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

検査対象物から電気信号を授受するための接続装置の製造方法であって、導電性膜をエッチングすることにより導電性配線を形成する第一工程と、該導電性配線と交差するレジストを形成する第二工程と、該導電性配線をエッチングすることにより接触端子を有する引き出し配線を形成する第三工程と、を備えた接続装置の製造方法。

IPC (2件)：

G01R 1/073 , G01R 31/02

FI (2件)：

G01R 1/073 F , G01R 31/02

Fターム (12件)：

2G011AA15 , 2G011AA21 , 2G011AB08 , 2G011AB10 , 2G011AC01 , 2G011AC06 , 2G011AC14 , 2G011AE03 , 2G014AA13 , 2G014AA32 , 2G014AB59 , 2G014AC10

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-141379
特開昭60-198838
特開昭54-148484

全件表示

前のページに戻る