特許
J-GLOBAL ID：200903052005213407
被検査面の欠陥検査方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287001
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118731
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】被検査面に存在する欠陥を確実に検出する。【解決手段】被検査面1を、その撮像部位Aが時間の経過と共に移動するように移動させ、任意の時刻ごとに撮像手段5からのカラー画像を入力し、この入力した互いに撮像時刻の異なる複数枚の当該カラー画像のそれぞれから欠陥候補点Bを抽出し、時系列に撮像された当該複数枚のカラー画像のそれぞれに存在する欠陥候補点Bが前記撮像部位の移動量に比例して移動しているか否かを前記複数枚のカラー画像の内の少なくとも任意の2枚以上のカラー画像から抽出された欠陥候補点Bの位置から判断し、前記複数枚のカラー画像の内の少なくとも任意の2枚以上のカラー画像から抽出された当該欠陥候補点Bの移動量が前記撮像部位Aの移動量に比例して移動していると判断された場合に、当該欠陥候補点Bは前記被検査面1上に存在する欠陥であると決定する。
請求項（抜粋）：
予め設定された照射領域から明暗パターンを被検査面(1) に照射し、当該被検査面(1) あるいは撮像手段(5) の少なくともいずれか一方を、当該被検査面(1) に照射された明暗パターンを含む前記被検査面(1) の撮像部位(A) が時間の経過と共に移動するように移動させ、任意の時刻ごとに当該撮像手段(5) からの明暗パターンカラー画像を入力し、この入力した撮像時刻の互いに異なる複数枚の当該明暗パターンカラー画像のそれぞれについて欠陥候補点を抽出し、この抽出された欠陥候補点が存在すべき位置に撮像されている明暗パターンカラー画像が当該複数枚の明暗パターンカラー画像の内の一定数以上を占める場合には、この欠陥候補点を前記被検査面(1) 上に存在する欠陥であると決定し、当該決定された欠陥の面積、縦横比、色を算出し、これらに基づいて欠陥の種類を類推し、欠陥のランク付けをすることを特徴とする被検査面の欠陥検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
G01N 21/89 Z
, G01B 11/30 G
, G01N 21/88 J
