特許
J-GLOBAL ID：200903052005881760
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-021513
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215695
出願日： 1992年02月07日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】 被検査対象物の表面をレーザビ-ムで走査し、その反射光量から得られる画像信号を処理して、被検査対象物の表面欠陥を検出する表面検査装置において、欠陥によるノイズ平均値上昇を防止し、地肌のみの正確なノイズ平均値を短時間に算出することのできることを目的とするものである。【構成】 走査ヘッド1から出力される画像信号のに対して、欠陥信号が重畳されていない下地レベルのみからノイズ・サンプリングを行う。そのため、被検査対象物の表面欠陥を除いた地肌部の正確なノイズ平均値が得られる。
請求項（抜粋）：
被検査対象物の表面にレーザビームを走査し、走査したレーザビームの反射光量を光電変換して、画像信号を生成する走査ヘッドと、この走査ヘッドから出力される画像信号に対して、連続した一定サンプリング単位長でサンプリングを行うサンプリング手段と、このサンプリング手段によって順次サンプリングされるサンプリング単位長内で、予め設定した設定レベル帯域に画像信号レベルが収まっている場合にはサンプリング単位長内の画像信号レベルの最大値と最小値の差である値をノイズ値として出力するノイズ検出手段と、このノイズ検出手段からノイズ値が出力される出力回数をカウントする実サンプリング回数カウンタと、ノイズ検出手段から出力されるノイズ値を順次累積加算記憶する加算記憶手段と、全サンプリング終了後に、加算記憶手段の記憶している累積値とサンプリング回数カウンタの計数値に基づいて、被検査対象物の表面地肌のノイズ平均値を求める計算手段とを有することを特徴とする表面検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/89
