特許
J-GLOBAL ID：200903052006308452
多軸振動モノリシックジャイロスコープ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-301707
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248874
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 1つより多くの軸の回りの回転運動を測定可能であり、小型、低価格かつ再現性に優れた多軸振動モノリシックジャイロスコープを提供する。【構成】 中央ポスト(15)に対する振動運動のために装着された質量部材(12)を備えた振動ジャイロスコープである。検出容量(30,40,41,42)が質量部材に隣接して装着され2つの直交軸の振動運動を検出する。前記質量部材はH形状フレーム(14)の平行アーム間に装着されかつ等しい逆方向の振動のために駆動される1対の要素(22,23)を含み、回転運動によって引起こされる力によって生ずるものを除きフレーム(14)には何らの運動も加えられない。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に形成され前記基板に平行な振動運動のために装着された質量部材(12,22,23)および前記質量部材に隣接して配置され前記質量部材(12,22,23)に対して2つの直交軸(X,Y)の回りの回転運動によって生ずる力を検出するための検出装置(30,40,41,42)を含むことを特徴とする多軸振動モノリシックジャイロスコープ。
引用特許：
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