エキシマレーザ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橋爪良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-352805
公開番号（公開出願番号）：特開平5-167135
出願日： 1991年12月16日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：

【要約】【目的】エキシマレーザ装置に係わり、特には、縮小投影露光装置用の光源として用いられるエキシマレーザ装置の改良に関する。【構成】レーザの共振器として使用されている光学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体で前記筺体内をパージするエキシマレーザ装置において、レーザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記筺体手段間のつなぎ伸縮可能の管ユニットを用いる。また、レーザチャンバの外側に複数のインバーロッドでフロント側プレートとリア側のプレートを固定するインバータロッドユニットと、少なくともフロントミラーを固定し、筺体で囲われ前記フロント側プレートに固定されたフロント側筺体部と、少なくともリアミラーまたは狭帯域化素子を固定し、筺体で囲われ前記リア側プレートに固定されたリア側筺体部と、前記フロント側プレートと前記レーザチャンバおよびリア側プレートと前記レーザチャンバの間の少なくともいずれかに伸縮可能の管ユニットを配設している。

請求項（抜粋）：

レーザの共振器として使用されている光学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体で前記筺体内をパージするエキシマレーザ装置において、レーザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記筺体手段間のつなぎに伸縮可能の管ユニットを用いることを特徴とするエキシマレーザ装置。

IPC (5件)：

H01S 3/034 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027 , H01S 3/08

FI (4件)：

H01S 3/03 G , H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 S , H01S 3/08 Z

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭51-147196
特開昭63-157485
特開昭49-038596

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