特許
J-GLOBAL ID：200903052014600014
クリーンルームおよび風量制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-254021
公開番号（公開出願番号）：特開平9-096431
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム内のレイアウト変更の発生に対して、速やかにダウンフローの乱れを防止すること。【解決手段】 アクセス床部1はクリーンルーム内の超清浄空気を通す通風孔2と、通風孔2を通す風量を調整する風量調整板3と、風量調整板3の制御を行う風量制御装置4とを備え、風量制御装置4は通風孔2を通る風量を測定し、常に一定の風量が得られるように制御する。
請求項（抜粋）：
超清浄空気を天井全面から吹き出し、室内の床全面に垂直に通過させて得られるダウンフローによって超清浄度を維持しているクリーンルームであって、アクセス床部が、前記クリーンルーム内の超清浄空気を床下に通す通風孔と、該通風孔を通過する風量を調整する風量調整板と、該風量調整板の制御を行う風量制御装置と、該風量制御装置の信号を隣接するアクセス床部と送受信する接続部とを備えたものであり、前記風量制御装置は、通風孔を通過する風量を測定する風速計と、風速計からの信号に基づいて風量換算し設定風量と比較する演算装置と、該演算装置の信号に基づいて設定風量が得られるように風量調整板を調整する動力部を有することを特徴とするクリーンルーム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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