特許

J-GLOBAL ID：200903052019757779

感放射線性樹脂組成物

発明者： 米田 英司 ,  志水 誠
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-153417
公開番号（公開出願番号）：特開2006-330325
出願日： 2005年05月26日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：

【課題】感度、解像度、パターン形状等に優れ、かつラインエッジラフネスの小さい感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される感放射線性酸発生剤、および(B)重合体分子鎖の末端の少なくとも一方にシアノ基を有し、酸の作用によりアルカリ易溶性となる重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表されるスルホン酸オニウム塩化合物を必須成分とする感放射線性酸発生剤、および(B)下記一般式(2)で表される繰り返し単位を有し、重合体分子鎖の末端の少なくとも一方にシアノ基を有するアルカリ難溶性またはアルカリ不溶性の重合体であって、酸の作用によりアルカリ易溶性となる重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  C08F 8/00 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/039 601 ,  C08F8/00 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R

Fターム (22件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100HA53 ,  4J100HC71

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特公平2-27660号公報
  

審査官引用 (1件)

• 樹脂とその製造方法及び化学増幅型ポジ型レジスト用組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-289729   出願人：住友化学株式会社