特許

J-GLOBAL ID：200903052025609641

リニア電磁アクチュエータを用いたXYテーブル

発明者： 今藤 卓雄 ,  藤澤 正司 ,  北出 憲充
出願人/特許権者： 日本トムソン株式会社
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-099401
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266660
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 リニア電磁アクチュエータを用いたXYテーブルについて、高速作動化、耐久性向上、発塵防止、小形(コンパクト)化などを達成すること。【解決手段】 リニア電磁アクチュエータへの給電用コードや各種センサからの信号取出し用コードを、中間移動部材(Xテーブル)3で集中させ、これらコードを外部(制御部等)との接続用コード47として1本にまとめている。これによって、コードによる悪影響を最小限に抑え、上記性能を発揮せしめている。

請求項（抜粋）：

両外側に配設された相対移動部材と、該相対移動部材間に配設された中間移動部材と、前記相対移動部材と中間移動部材とを相対移動自在に案内する案内手段と、該相対移動部材各々と該中間移動部材との間に駆動力を付与するリニア電磁アクチュエータとを備え、前記リニア電磁アクチュエータ各々の一次側が前記中間移動部材に設けられ、前記中間移動部材で前記リニア電磁アクチュエータへの給電等を行うようにしたことを特徴とするXYテーブル。

IPC (3件)：

H02K 41/02 ,  B23Q 1/25 ,  F16C 29/04

FI (3件)：

H02K 41/02 C ,  F16C 29/04 ,  B23Q 1/18 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• リニアモータにより駆動される2軸テーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-054348   出願人：ファナック株式会社
• リニア電磁アクチュエータを具備したXY駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-051421   出願人：日本トムソン株式会社