エッチング用組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-214232
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033304
出願日： 2000年07月14日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】透明導電膜のウエットエッチングの際に、エッチング残渣を全く発生せず、且つ温和な条件下で、エッチングが行えるエッチング剤を提供する。【解決手段】シュウ酸とアミノカルボン酸および/またはアミノカルボン酸の塩を含有する水溶液からなるエッチング用組成物。

請求項（抜粋）：

シュウ酸とアミノカルボン酸および/またはアミノカルボン酸の塩を含有する水溶液であることを特徴とするエッチング用組成物。

IPC (2件)：

H01L 21/306 , H01L 21/3213

FI (2件)：

H01L 21/306 F , H01L 21/88 C

Fターム (6件)：

5F033HH38 , 5F033QQ20 , 5F043AA26 , 5F043BB18 , 5F043GG02 , 5F043GG04

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