特許

J-GLOBAL ID：200903052040574838

板状体洗浄方法および洗浄装置

発明者： 内久根 丈志 ,  碓井 穂積 ,  横手 健三
出願人/特許権者： 株式会社ワコム製作所
代理人 (1件)： 平木 道人 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-132604
公開番号（公開出願番号）：特開平8-299917
出願日： 1995年05月08日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：

【要約】【目的】 種々の形状・寸法の洗浄被洗浄物をむらなく洗浄できる小形の洗浄器を提供する。【構成】 スクラブブラシ4a等を放射状に複数配置し、かつ該スクラブブラシを2段に重ねてその間に被洗浄物10を挟み込むことができるようにする。スクラブブラシの駆動力のベクトルが合成されて被洗浄物10が回動するように、回転方向を決定してスクラブブラシを回転させ、該スクラブブラシの間に挟み込まれた被洗浄物10を洗浄する。洗浄準備として、前記ベクトルの合成した力が作用して被洗浄物10が洗浄部1の中心まで引き込まれるようにスクラブブラシの回転方向を選択する。洗浄終了後は、ベクトルが合成された力によって被洗浄物10が排出部3に排出されるようにスクラブブラシの回転方向を選択する。

請求項（抜粋）：

洗浄用部品を放射状に複数配置し、かつその間に被洗浄物を挟み込むことができるように該洗浄用部品を2段に重ねた洗浄部で、被洗浄面とほぼ平行な軸を中心に洗浄用部品を回転させて板状の被洗浄物を洗浄する板状体洗浄方法において、すべての前記洗浄用部品による駆動力のベクトルが合成されて前記被洗浄物が洗浄面内で回動するように、回転方向を決定して前記洗浄用部品を回転させ、被洗浄面の回転速度および前記洗浄用部品の周速度の差によって前記洗浄用部品の間に挟み込まれた被洗浄物を洗浄することを特徴とする板状体洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 1/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 1/04 ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/304 341 B