特許
J-GLOBAL ID：200903052058101023
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-046385
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258070
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】筒型圧電素子利用の移動ステージ(微動位置調整装置)において、移動ステージ上に載置した試料の持つ傾斜を除去できるようにすること。【構成】探針を植立したカンチレバーを用い、その探針を試料の表面に近接させて相対走査することにより、上記試料表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、試料を探針に対して走査させるための微動位置調整装置20を、周面に分割した電極を配置した筒型の圧電素子22と、試料を載置するための上面部と凸面状の底部とを有する試料台21と、上記圧電素子の上部に配され、上記試料台の底部と接して試料台を傾斜可能に保持するサポート部24,25 とより構成する。
請求項（抜粋）：
探針を植立したカンチレバーを用い、その探針を試料の表面に近接させて相対走査することにより、上記試料表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、試料を探針に対して走査させるための微動位置調整装置を、周面に分割した電極を配置した筒型の圧電素子と、試料を載置するための上面部と凸面状の底部とを有する試料台と、上記圧電素子の上部に配され、上記試料台の底部と接して試料台を傾斜可能に保持するサポート部と、より構成したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
