特許
J-GLOBAL ID:200903052063077360
ビーム強度分布変換光学系を備えた照明装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小松 祐治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-334426
公開番号(公開出願番号):特開2002-139696
出願日: 2000年11月01日
公開日(公表日): 2002年05月17日
要約:
【要約】【課題】 1次元の線上領域で均一な光強度分布と高い光利用効率を得るとともに、そのために著しいコスト上昇を招かないようにする。【解決手段】 コヒーレント光源側に配置される非球面シリンドリカルレンズL1と、その出射側に位置する非球面シリンドリカルレンズL2とにより、ビーム強度分布変換光学系Gを構成し、当該光学系Gを経た光線を1次元の線上に集光するためのシリンドリカルレンズを配置する。入射平行ビームのガウシアンビーム半径を「a」とし、非球面シリンドリカルレンズL1の開口幅を「2・r0」、入射光線高を「x0」、非球面シリンドリカルレンズL2の開口幅を「2・R0」、出射光線高を「X0」とするとき、関係式「X0/R0=Erf(x0/a)/Erf(r0/a)」(但し、Erf(x/a)=(∫exp(-(τ/a)2)dτ)/(a・√(π)))を満たすように光学設計を行い、1次元トップハット形状のビームを得る。
請求項(抜粋):
コヒーレント光源側に配置される第一非球面シリンドリカルレンズとその出射側に位置する第二非球面シリンドリカルレンズとを含むビーム強度分布変換光学系と、該ビーム強度分布変換光学系を経た光線を1次元の線上に集光するための第三シリンドリカルレンズ又はレンズ群を有する、ビーム強度分布変換光学系を備えた照明装置であって、入射平行ビームのガウシアンビーム半径を「a」とし、第一非球面シリンドリカルレンズについて、その開口幅を「2・r0」、その入射光線高を「x0」、第二非球面シリンドリカルレンズについて、その開口幅を「2・R0」、その出射光線高を「X0」とするとき、下記に示す関係式、「 X0/R0 = Erf(x0/a)/Erf(r0/a) 」(但し、Erf(x)は誤差関数、即ち、Erf( x/a)=(∫exp(-(τ/a)2)dτ)/(a・√(π))であり、変数τの積分域は「-x≦τ≦x」。)が、上記ビーム強度分布変換光学系において、ほぼ全ての入射光線について満たされることを特徴とするビーム強度分布変換光学系を備えた照明装置。
IPC (4件):
G02B 27/09
, G02B 13/18
, G02B 27/00
, G03B 21/14
FI (4件):
G02B 13/18
, G03B 21/14 Z
, G02B 27/00 E
, G02B 27/00 V
Fターム (14件):
2H087KA07
, 2H087KA13
, 2H087KA21
, 2H087LA22
, 2H087LA26
, 2H087PA03
, 2H087PA05
, 2H087PA17
, 2H087PB03
, 2H087PB05
, 2H087RA05
, 2H087RA07
, 2H087RA12
, 2H087RA45
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