特許

J-GLOBAL ID：200903052069360667

移動ステージの精密送り装置

発明者： 吉田 英博 ,  佐野 一彦 ,  藤田 佳児 ,  佐藤 宏和 ,  妻鹿 浩尚
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 東島 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131681
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311789
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】送りむらが極めて小さな移動ステージの送り装置を提供する。【解決手段】電気粘性流体を入れた容器と、少なくとも一部が前記電気粘性流体の中に存在し、かつ移動可能な少なくとも1個の移動プレートと、前記移動プレートを有する移動ステージと、前記移動プレートの移動方向と実質的に直角の方向の電界であって前記移動ステージの移動速度に応じた電界を前記電気粘性流体に印加する電源部と、前記移動ステージを移動させる駆動部と、を具備する送り装置である。

請求項（抜粋）：

電気粘性流体を入れた容器と、少なくとも一部が前記電気粘性流体の中に存在し、かつ移動可能な少なくとも1個の移動プレートと、前記移動プレートを有する移動ステージと、前記移動プレートの移動方向と実質的に直角の方向の電界であって前記移動ステージの移動速度に応じた電界を前記電気粘性流体に印加する電源部と、前記移動ステージを移動させる駆動部と、を具備する送り装置。

IPC (6件)：

G12B 5/00 ,  B65G 54/02 ,  F16F 9/53 ,  G11B 7/26 501 ,  H01L 21/027 ,  B23Q 5/28

FI (6件)：

G12B 5/00 T ,  B65G 54/02 ,  F16F 9/53 ,  G11B 7/26 501 ,  B23Q 5/28 C ,  H01L 21/30 503 B

Fターム (22件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB12 ,  2F078CB15 ,  2F078CB16 ,  3F021AA03 ,  3F021BA02 ,  3F021CA06 ,  3F021DA05 ,  3J069AA35 ,  3J069CC40 ,  3J069DD25 ,  3J069DD50 ,  5D121AA02 ,  5D121BB38 ,  5D121BB40 ,  5D121JJ03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC19