特許
J-GLOBAL ID:200903052069715317
圧電セラミック焼結体の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-060241
公開番号(公開出願番号):特開平5-262570
出願日: 1992年03月17日
公開日(公表日): 1993年10月12日
要約:
【要約】【目的】 圧電セラミックスの焼成工程における焼成時間の短縮と焼成温度カーブの簡素化が図れ、かつ均質で圧電特性のばらつきの小さい圧電セラミック焼結体が得られる製造方法を提供する。【構成】 薄板状の圧電セラミックスの成形体1と気孔率15〜70%のマグネシア製セッター2とを交互に多段積み重ねて焼成することにより、成形形1に含まれるバインダの分解ガスの揮散が容易となるため焼成時間が短くできて焼成温度カーブの簡素化が図れ、またバインダ除去が均一に進行するため均質でばらつきの小さい圧電セラミック焼結体が得られる。
請求項(抜粋):
気孔率15〜70%のマグネシア製セッターと圧電セラミックスの成形体とを交互に多段積み重ねて焼成する焼成工程を備えた圧電セラミック焼結体の製造方法。
IPC (3件):
C04B 35/64
, C04B 35/49
, H01L 41/24
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