特許

J-GLOBAL ID：200903052075823164

コンタクトプローブおよびその製造方法

発明者： 加藤 直樹 ,  佐々木 勇人 ,  岩元 尚文 ,  吉田 秀昭 ,  石井 利昇
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外12名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-130141
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319040
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 折り曲げの際にピッチがずれることが無く、また、耐久性の低下を最小限に抑えるコンタクトプローブおよびその製造方法と前記コンタクトプローブを備えたプローブ装置を提供する。【解決手段】 複数のパターン配線3がフィルム2面上に形成されこれらのパターン配線3の各先端が前記フィルム2の先端部から突出状態に配されてコンタクトピン3aとされるコンタクトプローブ16であって、前記フィルム2面上に形成されたパターン配線3は、その先端側途中位置にて該フィルム2の先端部と共に折曲されて、前記コンタクトピン3aの先端部が測定対象物に接触したときにその接触面となす角度と、該接触面と前記フィルムの基端側面との角度が相違するように形成されている。

請求項（抜粋）：

複数のパターン配線がフィルム面上に形成されこれらのパターン配線の各先端が前記フィルムの先端部から突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタクトプローブであって、前記フィルム面上に形成されたパターン配線は、その先端側途中位置にて該フィルムの先端部と共に折曲されて、前記コンタクトピンの先端部が測定対象物に接触したときにその接触面となす角度と、該接触面と前記フィルムの基端側面との角度が相違するように形成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/067 ,  H01L 21/66 ,  H01L 23/32

FI (3件)：

G01R 1/067 D ,  H01L 21/66 B ,  H01L 23/32 D