特許

J-GLOBAL ID：200903052078415318

超微粒子分級装置

発明者： 伊ヶ崎 文和 ,  後藤 昭博 ,  堀内 由起彦 ,  内田 邦夫
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院物質工学工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-074084
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256146
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【構成】 超微粒子分級装置は一端の中心部に清浄ガス導入孔が、清浄ガス導入孔の周囲に超微粒子を含むガスの導入孔が設けられ、他端に同心円状にに設けられた複数の超微粒子取り出し口が設けられている円筒状の外管と、この外管の中心軸上に設けられ長さが外管の70%以下の針状の電極と、外管の内周または外周面上に針状電極の先端部を囲むように設けられた管状の電極と、針状電極と管状電極との間に電圧を印加するための電源とを備えている。【効果】 簡単な構成で大流量の超微粒子を分級することができる。

請求項（抜粋）：

一端の中心部に清浄ガス導入孔が、該清浄ガス導入孔の周囲に超微粒子を含むガスの導入孔が設けられ、他端に同心円状にに設けられた複数の超微粒子取り出し口が設けられている円筒状の外管と、該外管の中心軸上に設けられ長さが前記外管の70%以下の針状の電極と、前記外管の内周または外周面上に前記針状電極の先端部を囲むように設けられた管状の電極と、前記針状電極と管状電極との間に電圧を印加するための電源とを備えたことを特徴とする超微粒子分級装置。