特許
J-GLOBAL ID：200903052087864370

電子回路基板の微小穴検査装置

発明者：
西村 外次

西村 外次 について


出願人/特許権者：
関西電資株式会社

関西電資株式会社 について

, 
有限会社ニート

有限会社ニート について


代理人 (1件)： 藤本 英介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-170704
公開番号（公開出願番号）：特開2001-352144
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【課題】 電子回路基板の微小穴の検査において、作業者の負担を必要最小限に抑え、しかも、全数検査により不良率を最小限に抑えることができる電子回路基板の微小穴測定装置を提供する。【解決手段】 LED光源20の赤色光を基板18表面の目標箇所に対して一定の方向から照射するLEDランプ部24と、ラインイメージセンサがそれぞれ搭載された12台のCCDカメラ26が各カメラ26の視野の重なる状態で副走査方向(所定方向)に相当に2列で配列された、前記赤色光の照射された基板18表面を撮像する撮像部と、該各カメラ26の撮像画像に基づき微小穴形状を演算測定する微小穴認識部と、微小穴形状の良・不良を判別する良・不良判別部と、判別結果に基づき、不良品を処理する不良処理部とを有する。
請求項（抜粋）：
絶縁層の上部および下部に導電性金属層を有し、微小穴が形成された電子回路基板の検査装置であって、前記基板の微小穴は所定大きさで上部配線層と絶縁層を除去して上部配線層側から下部配線層が見えるようにしたものであり、LED光源の一定波長光を基板表面の目標箇所に対して一定の方向から照射するLEDランプ手段と、複数のCCDカメラ部が各カメラ部の視野の重なる状態で所定方向に複数列で配列された、前記光の照射された基板表面を撮像する撮像手段と、該各カメラの撮像画像に基づき微小穴形状を測定する手段と、測定結果から微小穴の良否を検査する手段とを有することを特徴とする電子回路基板の微小穴検査装置。
IPC (3件)：
H05K 3/00 ,  G01B 11/12 ,  G01B 11/24
FI (3件)：
H05K 3/00 Q ,  G01B 11/12 H ,  G01B 11/24 K
Fターム (28件)：
2F065AA22 ,  2F065AA51 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065DD06 ,  2F065DD09 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065GG07 ,  2F065GG14 ,  2F065GG22 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL21 ,  2F065LL49 ,  2F065MM03 ,  2F065MM12 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ28 ,  2F065RR06 ,  2F065SS09
引用特許：
審査官引用 (5件)
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