特許
J-GLOBAL ID:200903052088530123

圧電素子駆動装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中野 雅房
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-303384
公開番号(公開出願番号):特開平7-131087
出願日: 1993年11月08日
公開日(公表日): 1995年05月19日
要約:
【要約】【構成】 基準キャパシタ6aと圧電素子6bとは双方向に転流可能な転流回路10によって接続されている。制御回路16は、圧電素子6bの変位実際値Lと変位指令値Liとを比較し、変位実際値Lのほうが小さければ基準キャパシタ6aから圧電素子6bに電荷を転流させ、変位実際値のほうが大きければ圧電素子6bから基準キャパシタ6aに電荷を転流させる。これによって圧電素子6bの変位実際値Lを変位指令値Liに正確に一致させる。また、基準キャパシタ6aには充電回路13から電流を補助充電する。【効果】 電源電圧等の変動にかかわりなく、圧電素子の変位を正確に指令値と一致させることができる。
請求項(抜粋):
少なくとも第1の充放電素子が圧電素子からなる第1及び第2の充放電素子と、第1の充放電素子から第2の充放電素子へ電荷を転流させるための転流回路と、第2の充放電素子から第1の充放電素子へ電荷を転流させるための転流回路と、駆動源から第2の充放電素子に充電させるための充電回路と、変位指令値又は変位指令値に対応する電圧と第1の充放電素子の実際値とを比較演算する手段と、前記演算結果の極性に応じて第1及び第2の充放電素子間の電荷転送方向を選択する手段と、前記演算結果の大きさに応じていずれかの前記転流回路による転送電荷量を制御する手段とを備えた圧電素子駆動装置。
IPC (2件):
H01L 41/09 ,  H02N 2/00

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