特許

J-GLOBAL ID：200903052091536817

ギャップ測定方法、インプリント方法、及びインプリント装置

発明者： 末平 信人 ,  関 淳一 ,  稲 秀樹 ,  古川 幸生
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-138487
公開番号（公開出願番号）：特開2008-008889
出願日： 2007年05月25日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：

【課題】ギャップ計測用の段差を正確に測定することができる新規なギャップ測定方法等を提供する。【解決手段】2つの部材間のギャップを測定するギャップ測定方法であって、 対向して配置されている第1の部材と第2の部材を用意し、 前記第1及び第2の部材に、一方の部材側から光を照射し、 照射された光の反射光あるいは透過光の強度に関するスペクトルデータを取得し、 ギャップの大きさと強度スペクトルとが関連付けられているデータベースと、 前記スペクトルデータとを比較して、 前記第1の部材と前記第2の部材間のギャップを測定する構成とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

2つの部材間のギャップを測定するギャップ測定方法であって、 対向して配置されている第1の部材と第2の部材を用意し、 前記第1及び第2の部材に、一方の部材側から光を照射し、 照射された光の反射光あるいは透過光の強度に関するスペクトルデータを取得し、 ギャップの大きさと強度スペクトルとが関連付けられているデータベースと、 前記スペクトルデータとを比較して、 前記第1の部材と前記第2の部材間のギャップを測定することを特徴とするギャップ測定方法。

IPC (4件)：

G01B 11/14 ,  H01L 21/027 ,  B81C 5/00 ,  B29C 59/02

FI (4件)：

G01B11/14 G ,  H01L21/30 502D ,  B81C5/00 ,  B29C59/02 Z

Fターム (39件)：

2F065AA22 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065EE00 ,  2F065FF51 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  3C081AA01 ,  3C081CA37 ,  3C081CA44 ,  3C081EA07 ,  3C081EA27 ,  3C081EA29 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AP06 ,  4F209AQ01 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN13 ,  5F046BA10 ,  5F046DA17 ,  5F046DB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第6696220号明細書