特許

J-GLOBAL ID：200903052095831651

バッキングシートおよびそれを使用した研磨装置

発明者： 箱守 駿二 ,  田中 敬
出願人/特許権者： スピードファム・アイペック株式会社
代理人 (1件)： 中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-288236
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117624
出願日： 1998年10月09日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】 研磨時にウエハの裏面が汚れるのを防止できるバッキングシートおよびそれを使用した研磨装置を提供する。【解決手段】 バッキングシートを、外周側に位置するとともに、ウエハWが内径側に位置可能であるガイドリング6と、このガイドリング6の内径側に位置して前記サポートフィルム2を覆うとともに、中央部よりも外周部の方が硬度が低くなっており、さらに、前記ガイドリングよりも肉薄のバッキングパッドとをサポートフィルムの下面に配設して構成し、このバッキングパッドをキャリアベースの下面に取付けてある研磨装置。

請求項（抜粋）：

キャリアベースの下面に取付けられて研磨時にウエハを研磨パッドに押圧するとともに、水平方向の移動を阻止するようにしたバッキングシートであって、該バッキングシートは、外周側に位置するとともに、ウエハが内径側に位置可能であるガイドリングと、このガイドリングの内径側に位置して前記サポートフィルムを覆うとともに、中央部よりも外周部の方が硬度が低くなっており、さらに、前記ガイドリングよりも肉薄のバッキングパッドとをサポートフィルムの下面に配設して構成したことを特徴とするバッキングシート。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 G

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB06 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17