特許

J-GLOBAL ID：200903052095957930

部品装着装置における外力測定回路

発明者： 富樫 仁夫
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 丸山 敏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308703
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288618
出願日： 1991年11月25日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】 吸着ノズルに作用する外力を正確に測定出来る部品装着装置における外力測定回路を提供し、誤動作に基づく吸着ノズルの損傷を確実に防止する。【構成】 マイクロコンピュータ(1)は、吸着ヘッド機構(4)を高速で下降せしめる際の位置制御において、ストレインゲージ(62)によって測定した力データに対し、エンコーダ(14)のカウント値から検出した加速度データに基づく補正演算を施すことにより、吸着ノズル作用する実際の外力を測定し、該補正外力が所定の閾値を上回ったとき、吸着ヘッド機構の降下を停止する。

請求項（抜粋）：

部品装着面に対して接近離間する往復機構の出力部に、部品保持機構を取り付けて構成され、該部品保持機構は、往復機構の出力部に固定された基体部と、基体部に対して前記往復移動方向の相対移動が可能に連繋した部品保持ヘッド部と、基体部と部品保持ヘッド部とを連結する弾性連結部と、基体部と部品保持ヘッド部の間に介装されて両者の相対変位を測定する変位センサーとを具えている部品装着装置において、前記変位センサーの出力値と前記弾性連結部の弾性係数に基づいて、部品保持ヘッド部が受ける力を検出する力検出手段と、部品保持機構の部品保持ヘッド部が装着面へ接近する過程で、前記力検出手段の検出結果に対し、少なくとも往復機構の出力部の加速度と部品保持ヘッド部の質量を考慮した補正演算を施して、部品保持ヘッド部に対して作用する外力を算出する演算手段とを具えたこと特徴とする部品装着装置における外力測定回路。

IPC (7件)：

G01L 5/00 ,  B25J 9/10 ,  B25J 13/08 ,  B25J 15/06 ,  B25J 19/06 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/60 311