回転式塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287567
公開番号（公開出願番号）：特開平9-122560
出願日： 1995年11月06日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】基板表面の汚染を防止しつつ、基板表面に塗布むらを生じさせることなく均一な塗布膜を形成することができる回転式塗布装置を提供することである。【解決手段】カップ2の側壁にノズル7を配置する。ノズル7は、カップ2の内側に空気8を吹き出し、基板100の周縁部上を旋回する旋回気流を生じさせる。カップ2の上方から供給されたミスト除去用の空気流6は、旋回気流の作用を受け、基板100の回転方向に追随しながら基板100の中心から周縁部側へ向かって流動し、排気管2aから外方へ排出される。

請求項（抜粋）：

基板を回転させることによって塗布液を前記基板表面に塗り広げる回転式塗布装置において、前記基板の回転方向と同じ方向に前記基板の周縁部上を旋回する旋回気流を生じさせるように気体を吹き出す気体吹き出し手段を備えたことを特徴とする回転式塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 11/06 , G03F 7/16 502 , H01L 21/027

FI (3件)：

B05C 11/06 , G03F 7/16 502 , H01L 21/30 564 C

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