特許

J-GLOBAL ID：200903052118926167

X線回折装置

発明者： 御園生 隆 ,  片山 忠二
出願人/特許権者： 株式会社マックサイエンス
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-099508
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297195
出願日： 1992年04月20日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 X線回折装置において、スリット幅の調節処理を自動化して、測定作業能率の向上と、測定精度の向上とを図る。【構成】 装備するスリット装置Sは、スリット幅方向にスライド自在に支持された一対のX線遮蔽板41,42と、これらのX線遮蔽板41,42を互いに離間する方向あるいは互いに接近する方向に移動させる送りねじ部材44と、この送りねじ部材44を回転駆動する駆動手段45と、この駆動手段45の動作を制御する制御処理装置31とを具備した構成とする。そして、制御処理装置31は、スリット幅を変更する際に、X線遮蔽板41,42の端面同士を当接させることによってスリット幅のセンター出しを行う。

請求項（抜粋）：

X線源と、試料からの回折X線を検出するためのX線検出器と、試料のθ回転に対する前記X線検出器の2θ走査のために試料のθ回転に対する角度2θを測るゴニオメータと、入射X線の発散角を制限するために試料とX線源との間に配置される発散スリットと、回折X線の集束位置に配置される受光スリットと、散乱X線の前記X線検出器への進入を防止するために前記X線検出器と試料との間に配置される散乱スリットとを備えたX線回折装置であって、前記発散スリットとして利用されるスリット装置は、スリット幅の方向に沿って延在するガイド部材と、このガイド部材によってスリット幅方向にスライド自在に支持されて、X線を横断する同一面上で互いに対向する相互の端部間の離間距離がスリット幅となる一対のX線遮蔽板と、これら一対のX線遮蔽板の内の一方に螺合した右ねじ部と他方に螺合した左ねじ部とが同一軸上に装備されて回転駆動されることによって前記一対のX線遮蔽板のそれぞれを互いに離間する方向あるいは互いに接近する方向に移動させる送りねじ部材と、前記送りねじ部材を回転駆動するための駆動手段と、前記駆動手段による前記送りねじ部材の回転方向および回転量を制御する制御処理装置とを具備した構成とし、前記制御処理装置は、スリット幅を変更する際には、まず、X線遮蔽板相互が接近する方向の送りねじ部材の回転量をそれまでのX線遮蔽板相互の離間距離分よりも大目に指示して前記一対のX線遮蔽板の端面同士を当接させることによってスリット幅のセンター出しを行い、その後に、X線遮蔽板相互が離間する方向の送りねじ部材の回転量を試料の回転角θに応じて正確に指示することによって、試料のθ回転に応じたスリット幅を確保させることを特徴としたX線回折装置。

IPC (2件)：

G21K 1/06 ,  G01N 23/20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-182543
  
• 特開昭54-084794