特許

J-GLOBAL ID：200903052123566110

ワーク研削加工方法及びワーク研削加工装置

発明者： 西 健一朗 ,  温井 満 ,  中嶋 和男 ,  村井 史朗 ,  和田 豊尚
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
代理人 (1件)： 開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-055159
公開番号（公開出願番号）：特開平11-254317
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 ワーク搬入後のロボットハンドを洗浄して同一のロボットハンドによるワーク搬入出が可能となるワーク研削加工方法および装置を提供する。【解決手段】 ウエハ2の散水ブラシ63による洗浄を開始した時点で、ロボットハンド14に対してノズル71から一定の圧力の洗浄液の噴射供給を開始し、ロボットハンド14に付着している研削かすなどの不純物が洗浄液によって吹き飛ばされる形で洗浄される。つづいて供給装置が切り替えられ、ノズル71からロボットハンド14に対して一定の圧力の熱風が噴射供給されてロボットハンド14の乾燥がウエハ2の乾燥が完了するまでに行われる。洗浄、乾燥されたウエハ2はロボット1の洗浄乾燥されたロボットハンド14によって、受け渡し位置6aからカセット3cまで運搬される。

請求項（抜粋）：

格納されたワークを搬出する搬出工程とワークを研削盤に搬入する搬入工程とワークを研削する研削工程とワークを研削盤から搬出する搬出工程と研削されたワークをワーク洗浄装置に搬入する搬入工程と研削されたワークを洗浄するワーク洗浄工程とワークをワーク洗浄装置の受け渡し位置に受け渡し位置に搬入した後のロボットハンドについて行われるロボットハンド洗浄・乾燥工程と洗浄、乾燥が行われたロボットハンドによってワークを搬出する搬出工程とワークを格納する搬入工程とからなることを特徴とするワーク研削加工方法。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B24B 37/04 Z ,  H01L 21/304 622 L ,  H01L 21/68 A