特許
J-GLOBAL ID:200903052125152851
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 赤堀 龍吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-170697
公開番号(公開出願番号):特開2009-008921
出願日: 2007年06月28日
公開日(公表日): 2009年01月15日
要約:
【課題】優れた接着強度が得られるとともに、感度、密着性及び解像性が良好であり、吸水率が十分に低い感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)エポキシ樹脂と、(B)フェノール性水酸基及びビフェニル骨格を有するノボラック樹脂と、(C)光重合性化合物と、(D)カルボキシル基を有する樹脂と、(E)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)エポキシ樹脂と、
(B)フェノール性水酸基及びビフェニル骨格を有するノボラック樹脂と、
(C)光重合性化合物と、
(D)カルボキシル基を有する樹脂と、
(E)光重合開始剤と、
を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/032
, G03F 7/004
, G03F 7/033
, G03F 7/038
, G03F 7/027
, H01L 21/027
, C08G 59/62
FI (8件):
G03F7/032
, G03F7/004 501
, G03F7/032 501
, G03F7/033
, G03F7/038 503
, G03F7/027 515
, H01L21/30 502R
, C08G59/62
Fターム (27件):
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA14
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC74
, 2H025CA00
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB29
, 2H025CB30
, 2H025CB43
, 2H025CC08
, 2H025FA17
, 4J036AA01
, 4J036AD08
, 4J036AD21
, 4J036AF01
, 4J036FA01
, 4J036FB08
, 4J036HA02
, 4J036JA09
引用特許:
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