特許
J-GLOBAL ID:200903052125152851

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  赤堀 龍吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-170697
公開番号(公開出願番号):特開2009-008921
出願日: 2007年06月28日
公開日(公表日): 2009年01月15日
要約:
【課題】優れた接着強度が得られるとともに、感度、密着性及び解像性が良好であり、吸水率が十分に低い感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)エポキシ樹脂と、(B)フェノール性水酸基及びビフェニル骨格を有するノボラック樹脂と、(C)光重合性化合物と、(D)カルボキシル基を有する樹脂と、(E)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)エポキシ樹脂と、 (B)フェノール性水酸基及びビフェニル骨格を有するノボラック樹脂と、 (C)光重合性化合物と、 (D)カルボキシル基を有する樹脂と、 (E)光重合開始剤と、 を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/032 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027 ,  C08G 59/62
FI (8件):
G03F7/032 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/032 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/027 515 ,  H01L21/30 502R ,  C08G59/62
Fターム (27件):
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC74 ,  2H025CA00 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB29 ,  2H025CB30 ,  2H025CB43 ,  2H025CC08 ,  2H025FA17 ,  4J036AA01 ,  4J036AD08 ,  4J036AD21 ,  4J036AF01 ,  4J036FA01 ,  4J036FB08 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09
引用特許:
出願人引用 (1件)

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