特許
J-GLOBAL ID：200903052134296432
有機物除去装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-229727
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077198
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】光感受性素子で185nm光の有無の切替えを短時間に容易とする。【構成】紫外線ランプ6とウェハ3との間に合成石英で挾まれた間隙7を設け、間隙7に水と不活性ガスを切替えて流せるように弁8,9を設ける。
請求項（抜粋）：
紫外線とオゾンを使用して有機物を除去する装置において、被除去物と紫外線ランプとの間に石英ガラスで挾まれた間隙を設け、前記間隙への水の供給および排出を可能とする手段を設けたことを特徴とする有機物除去装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, G03F 7/42
, H01L 21/027
, H01L 21/302
