特許
J-GLOBAL ID：200903052137120718
振動素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329215
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154820
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 簡単な工程で製造でき、しかも、歩留まりを向上させる振動素子の製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上の犠牲層10の上に可動部4を形成し、可動部4の下側の犠牲層10をエッチング液を用いて除去する。そして、エッチング液を洗浄した後に洗浄液の乾燥を行う。この乾燥工程後に、可動部4の上側に電極体14を配設する。この電極体14には可動部4に空隙を介して対向する電極面14aを有する。上記可動部4と電極面14a間に電圧を印加して可動部4を電極面側に引き上げる静電力を作用させ、前記乾燥工程で基板1に付着した可動部4を基板1から剥がし、基板1と可動部4間に空隙5を形成して振動素子が完成する。上記静電力を用いることにより、基板1と可動部4間に空隙5を確実かつ簡単に形成できる上に、可動部4の破損が防止できて振動素子の歩留まりが向上する。
請求項（抜粋）：
基板に固定形成される固定部と、該固定部に支持され基板面と空隙を介して対向配設される可動部とを有した振動素子の製造方法において、まず、基板面の可動部形成領域に形成された犠牲層の上側に前記固定部に連接される可動部を形成し、その後、エッチング液を用いて上記可動部の下側の犠牲層を除去し、然る後、エッチング液を洗浄し、その後の乾燥工程で上記洗浄液を乾燥除去し、次に、上記可動部の上側に空隙を介して対向する対向電極を配置し、上記可動部と対向電極間に電圧を印加し、可動部を対向電極側に引き上げる静電力を作用させ、前記乾燥工程時の洗浄液の表面張力により基板に付着した可動部を基板から剥がし、基板と可動部間に空隙を形成する振動素子の製造方法。
IPC (5件)：
H01L 29/84
, G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/125
, H01L 21/304 341
H01L 29/84 Z
, G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/125
, H01L 21/304 341 Z
