特許

J-GLOBAL ID：200903052140318782

仕事関数像生成装置

発明者： 境 悠治
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-349704
公開番号（公開出願番号）：特開2001-167726
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 二次電子像に基づいて仕事関数像を容易に変換生成できるようにした仕事関数像生成装置を提供する。【解決手段】 試料4に電子ビームを照射する電子銃2と、試料にイオンビームを照射するイオン銃3と、試料から放出される二次電子を検出する二次電子検出器5と、二次電子検出器で得られた検出信号に基づいて二次電子像を生成する画像収集部10と、試料から放出される二次電子のエネルギー分布を測定するための電子分光器6と、該電子分光器で求められた二次電子エネルギー分布に基づき二次電子発生量と仕事関数との相関データを求める相関データ生成部8-1と、該相関データに基づいて二次電子像を仕事関数像に変換する画像処理部8-2とで仕事関数像生成装置を構成する。

請求項（抜粋）：

試料に一次線を照射するための一次線照射手段と、一次線の照射により試料から放出される二次電子を検出する二次電子検出器と、二次電子検出器で得られた二次電子検出信号に基づいて二次電子像を生成する手段と、一次線の照射により試料から放出される二次電子のエネルギー分布を測定するためのエネルギーアナライザと、該エネルギーアナライザで求められた二次電子のエネルギー分布に基づき二次電子発生量と仕事関数との相関を求め手段と、該二次電子発生量と仕事関数との相関に基づいて前記二次電子像を仕事関数像に変換する画像処理手段とで構成されていることを特徴とする仕事関数像生成装置。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/244

FI (2件)：

H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/244

Fターム (6件)：

5C033NN01 ,  5C033NP04 ,  5C033NP08 ,  5C033RR02 ,  5C033RR04 ,  5C033RR06