特許
J-GLOBAL ID：200903052143362022
加速度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252974
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060787
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 容易な方法で十分な試験を行う機能を備えた加速度検出装置を提供すること。【構成】 支持基板100の下面に接合された下部筐体110により第1の部屋が、上面に接合された上部筐体120により第2の部屋が、それぞれ形成される。第2の部屋内には、ダイヤフラム130が取り付けられ、その中央部から磁性材料からなる重錘体140が宙吊り状態となっている。ダイヤフラムに接合された変位基板150上には、変位電極21,23,25が形成され、これに対向するように、上部筐体120の内側底面には、絶縁層160を介して固定電極11,13,15が形成される。対向する電極の静電容量の変化から、重錘体に作用した三次元の加速度が検出できる。電磁石M1〜M6を選択的に励磁すると、各方向に加速度が作用したのと等価な状態が実現でき、試験を行うことができる。
請求項（抜粋）：
装置筐体に固定された固定部と、力の作用を受ける作用部と、を有し、前記作用部に作用した力により機械的変形が生じるように、可撓性をもった基板と、前記基板に生じた機械的変形を電気信号として取り出すトランスデューサと、外部から作用した加速度に基づいて、前記作用部に力を作用させる重錘体と、前記重錘体の近傍に配置された電磁石と、を備え、前記重錘体を磁性材料で構成し、前記電磁石を励磁することにより、前記基板に機械的変形を生じさせることができるようにしたことを特徴とする加速度検出装置。
IPC (2件)：
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